Соболь, О.В.; Андреев, А.А.; Горбань, В.Ф.; Столбовой, В.А.; Фильчиков, В.Е.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Установлено, что в слоях нитрида титана, толщиной 300 нм и более при подаче потенциала смещения развивается текстура [111]. Степень совершенства текстуры повышается с увеличением толщины слоя, что свидетельствует о ростовом ...