Мачулін, В.Ф.; Лепіх, Я.І.; Оліх, Я.М.; Романюк, Б.М.
(2007)
Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у межах кремнієвої технології виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних ...