Босый, В.И.; Кохан, В.П.; Рахманов, Н.М.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем.