Калиниченко, А.И.; Перепелкин, С.С.; Стрельницкий, В.Е.
(Вопросы атомной науки и техники, 2007)
На основе модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона в веществе предложена модернизированная теория формирования напряжений сжатия в тонких пленках, осаждаемых при одновременном облучении потоком ...