Столбовой, В.А.; Фурсов, С.С.; Зуйко, И.С.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Рассмотрены вопросы, связанные с очисткой поверхности подложки путём бомбардировки ионами титана и циркония вакуумно-дуговым методом. Показано, что очистку подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий необходимо ...