Порада, О.К.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2015)
Наведено експериментальні результати по тонких Sі–C–N-плівках, одержаних плазмохімічним методом із гексаметилдісилазану. Досліджено вплив потужности високочастотного газового розряду, кількости доданого до реактивної суміші ...