Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2005, № 2 за автором "Goncharov, A.A."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2005, № 2 за автором "Goncharov, A.A."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Panchenko, O.A.; Goncharov, A.A.; Demchishin, A.V.; Kostin, E.G.; Pavlov, S.N.; Stetsenko, B.V. (Вопросы атомной науки и техники, 2005)
    The results of calculations of atom flows, sputtered from a cathode of special cylindrical magnetron sputtering system, presented. The atoms flow in cylinder magnetron will be larger with respect to planar magnetron due ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис