Иващенко, В.И.; Порада, О.К.; Иващенко, Л.А.; Дуб, С.Н.; Тимофеева, И.И.; Гришнова, Л.А.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2010)
В работе исследовано влияние отрицательного потенциала смещения на подложке (UD) на структуру и механические свойства аморфного карбида кремния, полученного методом газофазового осаждения, усиленного высокочастотной плазмой ...