Курмашев, Ш.Д.; Викулин, И.М.; Ленков, С.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Показана возможность использования в качестве подзатворного диэлектрика МДП-структур оксидов Er, Dy, La. Преимущества использования оксидов редкоземельных элементов в качестве подзатворного диэлектрика определяются большой ...