Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2012, № 6 за автором "Pletniov, V.M."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2012, № 6 за автором "Pletniov, V.M."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Dudin, S.V.; Dakhov, A.N.; Lisovskiy, V.A.; Pletniov, V.M. (Вопросы атомной науки и техники, 2012)
    The results of experimental and theoretical study of RF capacitively coupled discharge breakdown in reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Taking into account complex geometry of the reactor with ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис