Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Bопросы атомной науки и техники, 2012 за автором "Dudin, S.V."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Bопросы атомной науки и техники, 2012 за автором "Dudin, S.V."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor 
    Dudin, S.V.; Dakhov, A.N.; Lisovskiy, V.A.; Pletniov, V.M. (Вопросы атомной науки и техники, 2012)
    The results of experimental and theoretical study of RF capacitively coupled discharge breakdown in reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Taking into account complex geometry of the reactor with ...
  • Simulation and experimental research of Langmuir probe operation in electro-negative plasma 
    Dudin, S.V.; Rafalskyi, D.V.; Naymark, D.A. (Вопросы атомной науки и техники, 2012)
    The mathematical model of single cylindrical Langmuir probe describing dependence of positive ion current gathered by the probe on the basic parameters of electronegative plasma, such as probe potential, densities of ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис