Fedorovich, O.A.; Kruglenko, M.P.; Polozov, B.P.
(Вопросы атомной науки и техники, 2009)
Наведено результати технологічних випробувань плазмохімічного реактора (ПХР) з замкнутим дрейфом
електронів, розробленого в ІЯД НАНУ. Досліджена залежність швидкості травлення монокремнію від робочого тиску в
ПХР. ...