Батурин, В.А.; Карпенко, А.Ю.
(Вопросы атомной науки и техники, 2009)
Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного
пучка с лазерным испарением. ...