Марченко, Ю.А.; Перун, Н.В.; Воеводин, В.Н.; Ванжа, А.Ф.; Александров, В.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2009)
Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок
Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не
с энергией 30 кэВ при ...