Береснев, В.М.; Толок, В.Т.; Швец, О.М.; Фурсова, Е.В.; Чернышов, Н.Н.; Маликов, Л.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2006)
Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом
вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока
от микрочастиц. На основе расчета скоростей ...