Андреев, А.А.; Шулаев, В.М.; Горбань, В.Ф.; Столбовой, В.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2006)
Получены вакуумно-дуговые TiN покрытия, осаждаемые в условиях имплантации
металлических и газовых ионов, обладающие сверхвысокой твердостью 40 ÷ 53 ГПа. Синтез
покрытий осуществлялся при температурах подложки от 105 до ...