Кривченко, О.В.; Немашкало, О.В.; Шепелев, А.Г.
(Физическая инженерия поверхности, 2014)
Обсуждается начальный период создания в ХФТИ вакуумно-дуговой технологии нанесения покрытий, распространившейся по всему миру. Рассмотрены также актуальные работы по ионной имплантации при подаче отрицательных высоковольтных ...