Белянин, А.Ф.; Самойлович, М.И.; Житковский, В.Д.; Каменева, А.Л.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005)
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.