Белоусов, И.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.