Ehrich, H.; Musa, G.; Mustata, I.
(Вопросы атомной науки и техники, 2002)
Описан метод термоионной вакуумной дуги (ТВД) как новый наиболее подходящий метод для осаждения тонких пленок высокой чистоты с компактной структурой и очень гладких, удобный для получения пленок с наноструктурой. ТВД может ...