Максимчук, Н.В.; Шмырева, А.Н.; Борисов, А.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010)
Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения.