Грицына, В.И.; Дудник, С.Ф.; Опалев, О.А.; Решетняк, Е.Н.; Стрельницкий, В.Е.
(Вопросы атомной науки и техники, 2018)
Приведены результаты исследований по кинетике роста алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока на модернизированном оборудовании. Показано, что на подложкодержателе диаметром 41 мм и при нулевом потенциале на нем ...