Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Semicond. Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 2015, № 1 за автором "Rudenko, E.M."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Semicond. Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 2015, № 1 за автором "Rudenko, E.M."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Shapovalov, A.P.; Korotash, I.V.; Rudenko, E.M.; Sizov, F.F.; Dubyna, D.S.; Osipov, L.S.; Polotskiy, D.Yu.; Tsybri, Z.F.; Korchovyi, A.A. (Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 2015)
    Aluminum nitride (AlN) film coatings have been obtained by a new technique of hybrid helikon-arc ion-plasma deposition. Possibility to combine the magnetic-filtered arc plasma deposition technique with a treatment in RF ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис