Силенко, П.М.; Данько, Д.Б.; Шлапак, А.М.; Єршова, О.Г.; Солонін, Ю.М.
(2008)
Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру ...