Пилипенко, В.А.; Пономарь, В.Н.; Петлицкая, Т.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
Предложен вариант комбинированного конденсаторного диэлектрика на основе пентаоксида тантала для конденсаторов СБИС. Для поиска оптимального сочетания слоев, при котором система Si — SiO₂ — Ta₂O₅ не испытывает упругой ...